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等離子處理設(shè)備

等離子處理設(shè)備

Plasma equipament

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VPTS系列真空式等離子處理設(shè)備

真空等離子體處理設(shè)備適用于產(chǎn)品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝，可以用于處理各種材料，包括高分子材料，金屬或半導(dǎo)體等。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

人機(jī)交互系統(tǒng)
適用于結(jié)構(gòu)復(fù)雜的 3D 工件
不改變機(jī)體固有特性，改性僅發(fā)生在表面
全程干法處理，無(wú)污染
低溫處理，適用于熱敏感材料
高穩(wěn)定性，使用壽命長(zhǎng)
低能耗，低保養(yǎng)費(fèi)用

產(chǎn)品參數(shù)

供給需求

電源：380V/50Hz，三相，15A

工藝氣體：輸入壓力 0.2MPA

壓縮空氣：輸入壓力 0.6MPA

可選配置

? RF發(fā)生器
? 耐腐蝕性氣體的 MFC

? 循環(huán)水冷機(jī)
? 真空泵

? 真空反應(yīng)腔尺寸（可定制）

產(chǎn)品型號(hào)/技術(shù)配置	VPTS-80	VPTS-110
外形尺寸	1050x1020x1750mm	1050x1020x1750mm
反應(yīng)腔尺寸	450x400x450 mm	530x520x400 mm
托架有效尺寸	400x320mm，6層	480×330mm，8層
真空腔體材料	鎂鋁合金
真空泵	雙極油泵
質(zhì)量流量控制器	0-500 Sccm(可選)
真空計(jì)	ULVAC
射頻電源	13.56 MHZ（功率可選）
水冷系統(tǒng)	水冷電極板+水冷機(jī)（選配）
PLC 系統(tǒng)	西門(mén)子
電器系統(tǒng)	施耐德
觸摸屏	10.7 寸
處理氣體	O2 、Ar 、N2 、 CDA

行業(yè)應(yīng)用

光伏行業(yè)

1、清潔指紋油在鋪設(shè)或焊接過(guò)程中，由于手指觸摸，電池板表面會(huì)留下指紋和油漬。電池片的表面有很細(xì)的絨面結(jié)構(gòu)，所以很難清洗。油漬會(huì)阻礙電池表面對(duì)光線的吸收和利用，導(dǎo)致電池組件的發(fā)電效率下降。低溫等離子體通過(guò)電離氣體產(chǎn)生高溫高速電子束（宏觀上顯示氣體溫度較低），在軸流風(fēng)扇的作用下將電子束吹出，去除油污、指紋等。電池的表面，從而

醫(yī)療器械行業(yè)

物體表面的氧含量和表面潤(rùn)濕能力與微生物的生成和生長(zhǎng)息息相關(guān)。所以，在實(shí)驗(yàn)醫(yī)學(xué)中，有效地對(duì)非極性塑料表面進(jìn)行預(yù)處理是非常重要的。等離子體技術(shù)可以提供一系列的技術(shù)手段，在實(shí)驗(yàn)室研究中創(chuàng)造良好表面狀態(tài)。1、輸液器輸液器在使用過(guò)程中有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)拔針時(shí)，針座與針管之間由于接合不良導(dǎo)致脫離的現(xiàn)象，為了避免這種醫(yī)療事故的發(fā)生，對(duì)針座進(jìn)

光伏行業(yè)

光伏電池是一種利用太陽(yáng)光的輻射能量，將其轉(zhuǎn)化為電能的裝置。它主要由兩部分組成：一部分是太陽(yáng)能電池板，另一部分是控制器。太陽(yáng)能電池板是一個(gè)半導(dǎo)體材料制成的板子，上面涂有一層薄薄的PVD（即物理氣相沉積）膜。PVD膜的作用是將太陽(yáng)光線中的能量聚焦在電池板的表面，從而產(chǎn)生電流?？刂破魇且粋€(gè)微型電腦，可以控制整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)行。它通過(guò)監(jiān)測(cè)太陽(yáng)能電池板的輸出電流，調(diào)節(jié)充電電流，以保證給負(fù)載提供最大的功率。光伏電

IC封裝行業(yè)

典型優(yōu)勢(shì) 1、去除表面的有機(jī)物、氧化物和其他污染物，提高芯片表面親水性2、改善引線鍵合界面的表面活性，提高芯片的鍵合強(qiáng)度和鍵合導(dǎo)線的張力均勻性等離子清洗機(jī) 應(yīng)用于IC封裝領(lǐng)

汽車行業(yè)

隨著汽車行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的逐漸提高，以及在智能化和物聯(lián)網(wǎng)水平提高的背景之下，消費(fèi)者除了在對(duì)車輛的舒適性與安全性上有著更高的要求，還對(duì)于一種可用于處理部分汽車零件的等離子處理技術(shù)有著很大的需求。車輛外觀、內(nèi)飾、智能化成為年輕用戶的追求，內(nèi)飾豪華是代的必不可少的,而等離子處理技術(shù)可以顯著的提高汽車各工藝的細(xì)節(jié)優(yōu)化。 1、汽車內(nèi)飾件

新能源鋰電池行業(yè)

根據(jù)3C數(shù)碼類，智能手機(jī)、平板電腦；新能源汽車、純電動(dòng)驅(qū)動(dòng)車及新型設(shè)備、電動(dòng)工具、儲(chǔ)能系統(tǒng)和通信基站等領(lǐng)域，以及消費(fèi)者的需求不斷增高，鋰電池的市場(chǎng)規(guī)模同時(shí)也在不斷逐步擴(kuò)大；而綜上所言，鋰電池的應(yīng)用已成為必然趨勢(shì)，且有著開(kāi)闊的市場(chǎng)前景。目前鋰電池生產(chǎn)廠家普遍采用溶劑型膠粘劑，該類膠粘劑需要加入NMP溶劑配合使用，而NMP溶劑含有一些對(duì)人體健康有害的不良物質(zhì)，使用時(shí)還需投入成本進(jìn)行回收；并且伴有

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